旋片式真空泵(簡稱旋片泵，又稱滑片式真空泵)是利用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的旋片旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以獲得真空的一種變?nèi)輽C(jī)械真空泵。當(dāng)采用工作液來進(jìn)行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時(shí)，即為通常所稱的油封旋片式真空泵;無工作液時(shí)，即為干式旋片式真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為1. 33×10 -2～1. 013×los Pa，屬于低真空泵?？梢詥为?dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。
旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)。旋片泵主要由泵體、旋片、轉(zhuǎn)子、彈簧、排氣閥等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的兩個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。
兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按一定方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣閥相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)，氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，后與排氣閥相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)(低真空級(jí))，由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。
旋片泵在結(jié)構(gòu)上可分為油封式和油浸式兩大類。油封式結(jié)構(gòu)是指油箱設(shè)在泵體上，泵油起到密封排氣閥的作用;油通過排氣閥和油孔進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)件的表面覆蓋一層油膜，密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙，防止氣體返流;這些油還能減少排氣腔內(nèi)的有害空間，以消除它們對極限壓強(qiáng)的影響;泵體靠水或風(fēng)冷。一般大泵多采用這種結(jié)構(gòu)形式。油浸式結(jié)構(gòu)是將整個(gè)泵體浸在泵油中，泵油起到密封和冷卻作用。小泵和直聯(lián)泵多采用這種結(jié)構(gòu)形式，轉(zhuǎn)速可高達(dá)1450r/min，大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量。
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